Другая группа позитивных резистов включает материалы, в пленкообразующем полимере которых в результате ряда фотохимических, а затем термических стадий или разрушается основной скелет, или за счет превращений заместителей в цепи полимера появляются кислотные функции. В обоих случаях резко повышается растворимость экспонированных участков по сравнению с не-фотолизованными, что и приводит при проявлении к позитивному рельефу.[2, С.66]
Полиэфиры, в отличие от полимерных кислот, нерастворимы и воде, а растворимость их в органических растворителях зависит от величины и строения спиртового остатка R. Растворителями полимерных эфиров, содержащих насыщенные спиртовые остатки, служат сложные эфиры, кетоны, галоидопроизвод-ные углеводородов, ароматические углеводороды. С увеличением размера спиртового радикала повышается растворимость полимера. Сложные эфнры ненасыщенных спиртов (винилового, ал-лилового) образуют стекловидные хрупкие полимеры пространственной структуры, нерастворимые и перазмягчающиеся.[1, С.341]
При многослойном монтаже в производстве больших ИС резистный микрорельеф, полученный с помощью фотолитографии, может выполнять функцию межслойной изоляции. Однако по условиям технологии одновременно с этим он должен быть термостойким— выдерживать температуру до 500 °С. Слои многих фоторезистов обладают электроизоляционными свойствами (а. с. СССР 398916, см. раздел IV. 2). Однако для получения термостойкого рельефа необходимо применять специальные полимеры. Среди них чаще всего используют полиамидокислоты — продукты конденсации ангидридов тетракарбоновых кислот ароматического ряда с ароматическими диаминами, известны и кремнийсодержащие полиамидокислоты [42]. Полиамидокислоты в растворах неустойчивы и склонны к гидролизу. Изучению их синтеза и свойств посвящено большое число работ. При нагревании они претерпевают внутримолекулярную циклизацию, приводящую к образованию имидных циклов в цепи полимера. Полиимиды отличаются высокой термостойкостью, отличными механическими, электроизоляционными, а также пленкообразующими свойствами. При реакции полиимидов с основными аминами (этилендиамин, гидразин) происходит ре-циклизация, сопровождающаяся разрывом полимерной цепи, вследствие чего резко повышается растворимость полимера.[2, С.190]
Для синтеза П. применяют в основном производные карборанов (таблица). При введении карборановых группировок в макромолекулы различных классов полимеров у последних, как правило, повышается растворимость и возрастает термостойкость.[3, С.426]
Для синтеза П. применяют в основном производные карборанов (таблица). При введении карборановых группировок в макромолекулы различных классов полимеров у последних, как правило, повышается растворимость и возрастает термостойкость.[6, С.424]
Растворимость П. э. зависит от длины радикала и его строения. Поливинилметиловый эфир хороню растворим в холодной воде, но выше 35 °С выпадает в осадок; поливипилметиловый и поливинилэтиловый эфиры растворимы в этиловом спирте. При увеличении длины радикала R повышается растворимость П. э. п углеводородах, кетоиах и эфирах. Поливинилариловые офирм растворимы в большинстве органич. растворителей; нерастворимы в спиртах. Кристаллич. П. а. растворяются значительно труднее аморфных.[4, С.208]
Растворимость П. э. зависит от длины радикала и его строения. Поливипилметиловый эфир хорошо растворим в холодной воде, по выше 35 °С выпадает в осадок; поливинилметиловый и поливинилэтиловый эфиры растворимы в этиловом спирте. При увеличении длины радикала R повышается растворимость П. э. в углеводородах, кетонах и эфирах. Поливинилариловые эфиры растворимы в большинстве органич. растворителей; нерастворимы в спиртах. Кристаллич. П. э. растворяются значительно труднее аморфных.[5, С.205]
Для приготовления лаков из алкидных смол могут применяться различные растворители и их смеси: ароматические (бензол, толуол, ксилол, сольвент-нафта) и алифатические (бензин, керосин, уайт-спирит) углеводороды, сложные эфиры (этилацетат, амилацетат и др.), кетоны (ацетон, метилэтил-кетон и др.), спирты, скипидар и т. д. С увеличением жирности смолы повышается ее растворимость в алифатических углеводородах, с уменьшением — повышается растворимость в спиртах.,[7, С.274]
С увеличением числа звеньев в цепи линейно-аннелиро-ванных и /гери-конденсирован-ных ароматич. углеводородов с ненарушенной из-за вращения фрагментов вокруг одинарных связей симметрией молекул (напр., ацены, и-фени-лены) возрастают темп-ры плавления и теплоты сублимации, уменьшается растворимость (табл. 2, 3). При отклонении от линейного расположения ядер (м- и о-фенилены) и при введении объемных заместителей темп-ры плавления резко понижаются, повышается растворимость. Положение и интенсивность максимумов поглощения аценов и фениле-нов в электронных спектрах, обусловленные различиями между энергиями невозбужденного и возбужденного состояний, м. б. объяснены только эффектом сопряжения. В соответствии с изложенным выше, П., способные к образованию прочных межмолекулярных я-комплексов, являются обычно твердыми окрашенными соединениями с высокими темп-рами плавления, часто превышающими их темп-ры разложения, и плохой растворимостью; они ассоциированы в р-рах. Нарушение[6, С.497]
С увеличением числа звеньев в цепи линейно-аннолиро-ванных и геери-конденсирован-ных ароматич. углеводородов с ненарушенной из-за вращения фрагментов вокруг одинарных связей симметрией молекул (напр., ацены, ге-фени-лены) возрастают темп-ры плавления и теплоты сублимации, уменьшается растворимость (табл. 2, 3). При отклонении от линейного расположения ядер (м- и о-фенилены) и при введении объемных заместителей темп-ры плавления резко понижаются, повышается растворимость. Положение и интенсивность максимумов поглощения аценов и фениле-нов в электронных спектрах, обусловленные различиями между энергиями невозбужденного и возбужденного состояний, м. б. объяснены только эффектом сопряжения. В соответствии с изложенным выше, П., способные к образованию прочных межмолекулярных я-комплексов, являются обычно твердыми окрашенными соединениями с вы-сокими темп-рами плавления, часто превышающими их темп-ры разложения, и плохой растворимостью; они ассоциированы в р-рах. Нарушение[3, С.499]
Физические свойства каучуков. Мол. масса (по Шта-уднигсру) твердых В. к. составляет (50—150)-103, жидких— (2—15)-103. Плотность, зависящая от состава В. к., изменяется в пределах 0,92 — 0,98 г/см3. В. к. относятся к аморфным полимерам: темп-pa их стеклования зависит от содержания випильных сомо-номеров и составляет от —50 до —70° С. В. к., содержащие 5—15% вшшлпиридпна, растворимы в обычных ароматпч. и алифатич. растворителях; при более высоком содержании внпилпирцдппа н особенно при дополнительном введении в макромолекулу акрилонпт-рила повышается растворимость В. к. в кетопах и сложных афирах (ацетон, ;>тилапетат). С увеличением содержания вишиишрндика возрастает гидрофплыюсть 15. к.; полимеры, содержащие свыше 50% вшшлтшри-дина, растворимы в воде. В. к. имеют запах вшшлпи-ридипов.[4, С.213]
ТЕОРЕТИЧЕСКАЯ МЕХАНИКА СТУДЕНТАМ!!! Задачи по теоретической механике из сборника курсовых работ под редакцией А.А. Яблонского, Кепе, Диевского. Быстро, качественно, все виды оплат, СМС-оплата.
А также: Готовые решения задач по теормеху из методичек Тарга С.М. 1988 и 1989 г. и задачника Мещерского. Решение любых задач по термеху на заказ.
Если Вам нужны решения задач по Физике из методички Чертова А.Г. для заочников, а также решебнки: Прокофьева, Чертова, Воробьёва и Волькинштейна. Решение любых задач по физике и гидравлике на сайте fiziks.ru
Что самое приятное на любом из этих сайтов Вы можете заказать решение задач по другим предметам: химия, высшая математика, строймех, сопромат, электротехника, материаловедение, ТКМ и другие.