При многослойном монтаже в производстве больших ИС резистный микрорельеф, полученный с помощью фотолитографии, может выполнять функцию межслойной изоляции. Однако по условиям технологии одновременно с этим он должен быть термостойким— выдерживать температуру до 500 °С. Слои многих фоторезистов обладают электроизоляционными свойствами (а. с. СССР 398916, см. раздел IV. 2). Однако для получения термостойкого рельефа необходимо применять специальные полимеры. Среди них чаще всего используют полиамидокислоты — продукты конденсации ангидридов тетракарбоновых кислот ароматического ряда с ароматическими диаминами, известны и кремнийсодержащие полиамидокислоты [42]. Полиамидокислоты в растворах неустойчивы и склонны к гидролизу. Изучению их синтеза и свойств посвящено большое число работ. При нагревании они претерпевают внутримолекулярную циклизацию, приводящую к образованию имидных циклов в цепи полимера. Полиимиды отличаются высокой термостойкостью, отличными механическими, электроизоляционными, а также пленкообразующими свойствами. При реакции полиимидов с основными аминами (этилендиамин, гидразин) происходит ре-циклизация, сопровождающаяся разрывом полимерной цепи, вследствие чего резко повышается растворимость полимера.[3, С.190]
Эпоксидные. смолы, содержащие реакционноспособные эпоксидные группы, отверждаются многими низкомолекулярными соединениями, олигомерами и полимерами. В числе часто используемых с этой целью веществ — первичные алифатические и ароматические ди- и полиамины (полиэтиленполиамин, гексаметилен-диамин, диэтилентриамин, jn-фенилендиамин и т. д.), дицианди-амид, ангидриды ди- и тетракарбоновых кислот, третичные амины, их комплексы с BFs и др. Алифатические диамины способны отвер* ждать эпоксидные смолы на холоду, а отверждение ароматическими диаминами проводят при 80 °С и выше. Наиболее часто для отверждения эпоксидных смол на холоду используют полиэтилен-полиамины общей формулы H2N(CH2CH2NH)nH, где n=l-f-4.[4, С.218]
Ароматические диамины, как известно, используются в лакокрасочной и электротехнической промышленности как отвердители для эпоксидных смол. Они оказались весьма эффективными отвер-дителями и для композиций на основе ХСПЭ. Среди исследованных отвердителей (п-, м-, о-фенилендиамины, диаминодифенилме-тан, диаминодифенилсульфон, бензидин [24]) наиболее эффективными оказались п- и ж-фенилендиамины. Применение этих соединений дает возможность получать покрытия как холодной, так и горячей сушки с хорошими физико-механическими показателями. Наиболее эффективным растворителем для ж-фенилендиамина является метилэтилкетон, для п-фенилендиамина — циклогексанон. - Покрытия на основе ХСПЭ, отвержденные ароматическими диаминами, обладают высокой стойкостью в газообразных и жидких агрессивных средах.^ Так, в покрытиях по бетону образцы не изменили внешнего вида после выдержки в течение 180 сут в парах азотной, соляной, серной и уксусной кислот [5, 14]. В покрытиях по металлу образцы показали высокую стойкость в агрессивных средах, но только при комнатной температуре. Это связано, по-видимому, с ухудшением адгезии покрытия к металлу при повышении температуры [25, 26] и значительным увеличением скорости диффузии агрессивных сред (в особенности воды) при повышенной температуре. Тем не менее, при 20 °С покрытия на основе ХСПЭ, отвержденные ароматическими диаминами, стойки в таких средах, как 20%-ные соляная и азотная кислоты, 80%-ная и 60%-ная серная кислота, 30%-ная перекись водорода, 40%-ная плавиковая кислота, 85%-ная фосфорная кислота, 40%-ный и 10%-ный раствор едкого натра, насыщенный раствор пермангана-та калия, изопропиловый спирт, 10%-ная уксусная кислота и 37%-ный формальдегид [26]. Покрытия на основе ХСПЭ, отвержденные ж-фенилендиамином, обладают хорошей атмосферостойко-стью, превосходя в этом отношении другие композиции на основе ХСПЭ.[5, С.166]
Сравнительной легкостью переработки в изделия Отличаются лолиаспаргинимиды, получаемые взаимодействием бисмалеиними-дов с ароматическими диаминами:[4, С.235]
По атмосферостойкости и химической стойкости покрытия на основе ХСПЭ, отвержденные смолой ПО-201, уступают покрытиям, отвержденным ароматическими диаминами и др. Это связано, очевидно, с небольшой густотой сетки сшитого ХСПЭ и как следствие, с высокой диффузионной проницаемостью покрытия [5, 29]. Учитывая свойства покрытий, сшитых смолой ПО-201, они рекомендуются в основном для изготовления покрытий по бетону, не подвергающихся атмосферному воздействию и прямому действию жидких агрессивных сред [5, 26].[5, С.167]
Новый класс полиморов, отличающихся высокой теплостойкостью, представляют полиимиды [317, 318]. Они были получены Джонсом и сотр. [317] при взаимодействии ангидрида пиромеллитовой кислоты с ароматическими диаминами (лг-фенилендиамином или бензидином). Практическое значение имеет полимер, получаемый из пиромеллитового ангидрида и га,ге-ди-аминодифенилоксида [317, 319—321], а также из «Х-диамиподифсншше-тана [323]:[9, С.261]
Композиции, отвержденные аминоэпоксидными аддуктами, характеризуются хорошими физико-механическими свойствами (табл. 3.6). По прочности и эластичности они не уступают композициям, отвержденным ароматическими диаминами, и превосходят их по твердости покрытий '[5, 32].[5, С.169]
Получаемые полимеры имеют хорошие механические свой ства (табл. 2.3), слабую окраску (благодаря отсутствию арома тических циклов), а по теплостойкости приближаются к компо зициям, отвержденным ароматическими диаминами [8].[6, С.37]
Синтезированные фосфорсодержащие мономеры были использованы для синтеза полиамидов, который проводили как методом равновесной, так и методом межфазной поликонденсаций. Было получено большое количество полиамидов из фосфорсодержащих дикарбоновых кислот с алифатическими и ароматическими диаминами, а также из фосфорсодержащего диамина с некоторыми дикарбоновыми кислотами. Все полученные полиамиды были способны к волокно- и пленкообразованию. По своим механическим характеристикам фосфорсодержащие полиамиды не уступают обычным, широко распространенным полиамидам типа полигекса-[7, С.65]
Для улучшения адгезии либо вводят в композицию на основе ХСПЭ другие синтетические смолы, отличающиеся хорошей адгезией к металлу, либо используют в качестве отверждающих агентов соединения с определенными функциональными группами. Чаще всего используют эпоксидные и фенольные смолы, которые хорошо совмещаются с ХСПЭ и растворяются в тех же растворителях. Эпоксидные смолы, кроме того, могут также, как и ХСПЭ, отверждаться соединениями, содержащими NH2, NH и СОМШ-группы, например полиамидными смолами, ароматическими диаминами и т. д. Однако скорость отверждения эпоксидных смол и ХСПЭ настолько различны, особенно при комнатной температуре, что при совместном присутствии отверждается практически лишь ХСПЭ.[5, С.168]
ТЕОРЕТИЧЕСКАЯ МЕХАНИКА СТУДЕНТАМ!!! Задачи по теоретической механике из сборника курсовых работ под редакцией А.А. Яблонского, Кепе, Диевского. Быстро, качественно, все виды оплат, СМС-оплата.
А также: Готовые решения задач по теормеху из методичек Тарга С.М. 1988 и 1989 г. и задачника Мещерского. Решение любых задач по термеху на заказ.
Если Вам нужны решения задач по Физике из методички Чертова А.Г. для заочников, а также решебнки: Прокофьева, Чертова, Воробьёва и Волькинштейна. Решение любых задач по физике и гидравлике на сайте fiziks.ru
Что самое приятное на любом из этих сайтов Вы можете заказать решение задач по другим предметам: химия, высшая математика, строймех, сопромат, электротехника, материаловедение, ТКМ и другие.