Технологические факторы (I—III): температура предварительной термообработки, состав проявителя, режим плазменного удаления вуали, способ травления.[2, С.242]
Использование тканей из комбиниронанных нитей, обладающих значительной тепловой усадкой, возможно только после их предварительной термообработки. Нвиду этого для смешанной оберточной ткани из хлопкового и полиамидного волокна («смеска») установлено оптимальное содержание штапельного синтетического волокна (20%), при котором повышается устойчивость ткани к износу (н 1,5 2,0 раза) без значительного у худи гения других свойств.[1, С.213]
Широкое использование прежде всего в производстве многослойных печатных плат, нашли сополимеры метилметакрилата с метакриловой кислотой [124], карбоксильные группы которых в результате предварительной термообработки частично переходят в ангидридные. Модифицированный таким образом полимер наносят на подложку и термолизуют на ней при 200 °С, что приводит к сшиванию резиста. В зависимости от состава сополимера и его обработки чувствительность колеблется в интервале 5-10~6— 2-10~б Кл/см2. Изменением состава можно изменить характер резиста с гидрофильного на гидрофобный.[2, С.260]
Чувствительность сополимера^ гл_ицидилметакрилата с этилакрилатом (70 : 30; Mw = 160000; Mw/Mn = 2,3), обозначаемого СОР, Д.°,5 = 3,2-10-7 Кл/см2, Y= 1,0 [95]. По данным ДТА сополимер при нагревании структурируется, поэтому температура предварительной термообработки рекомендована в интервале 60—75°С, продолжительность термообработки 3—15 мин. При проявлении в метилэтилкетоне наблюдали деструкцию возникших структур из-за набухания сшитого полимера. Эта деструкция была подавлена при проявлении в смеси метилэтилкетона с этанолом (5:2). Температура доотверждения рекомендована в пределах 100—150°С. Испытания показали очень хорошие литографические свойства СОР как при изготовлении хромовых масок, так и в некоторых случаях при прямом экспонировании на кремниевых подложках [96]. Минимальный размер элементов в технологических процессах составляет 1 мкм. Существенным недостатком при использовании этого сополимера для прямого экспонирования на кремниевых подложках является его низкая температура стеклования (Тс ~ 10°С)', что на стадиях обработки при повышенной температуре ведет к деструкции образованной структуры. СОР стал первым промыш-ленно производимым электронным резистом, предназначенным для производства хромовых масок. Подобные резисты запатентованы в ФРГ [пат. ФРГ 2543553, 2849996, 2450381].[2, С.246]
Кроме того, упрощается технологический процесс путем исключения трудоемкой стадии предварительной термообработки волокна, так как волокно из поливинилового спирта в ванне, содержащей малеиновый диальдегид, ацеталируется и теряет растворимость в воде.[4, С.170]
Фейт с сотрудниками [пат. США 4201580] синтезировал замещенный полистирол с экстремально низкой полидисперсностью хлорированием полистирола, полученного пр_и анионной полимеризации. Полистирол с M^^l.S-lO5 и МШ/Л1„ < 1,06 прохлориро-вали до введения в среднем 1 атома хлора на 1 арильную группу без изменения Mw. После предварительной термообработки при[2, С.251]
ПММА в настоящее время является классическим позитивным электронорезистом, который в результате многочисленных работ [109], посвященных всестороннему изучению возможности его применения, рассматривается как «стандарт» при испытании не только новых электроне-, но и рентгено-резистов. ПММА может использоваться также как ионный резист [112]. Из промышленных марок ПММА наиболее широко используются в качестве ре-зистов Elvacite 2041 и 2010 фирмы Dupont (США). Слой резиста чаще всего наносят из раствора в хлор- или о-дихлорбензоле, оптимальная температура предварительной термообработки 160— 170°С. Проявление стандартизовано для смесей метилизобутил-кетона с изопропиловым спиртом в соотношении 1:1, 1:2 и 1:3. ПММА дает возможность получать рельефы субмикронных размеров.[2, С.256]
Чувствительность полидиаллилортофталатов в качестве негативных резистов колеблется в пределах 5-Ю-7 — 5- КН Кл/см2 [89]. Ее можно повысить снижением ускоряющего напряжения, что соответствует теоретической зависимости распределения энергии электронного излучения от ускоряющего напряжения. Экспонирование на металлических подложках также подтверждает влияние природы подложки на распределение энергии излучения в резисте. По данным ДТА и ТГА, в интервале 150 — 170 °С происходит структурирование полимера, разложение начинается при температуре выше 200 °С, а полностью полимер деструктирует при 350 С. На основе этих результатов для предварительной термообработки рекомендован интервал температур 100 — 130°С, для доотверждения — 170 — 190 °С, когда протекает дополнительное сшивание. Резисты этого типа были успешно испытаны для создания рельефов с размером элементов 1 — 3 мкм.[2, С.245]
В связи с а,а-дизамещенным строением полиметакрилонитрила естественно, что в подходящих условиях из этого полимера могут быть получены высокие выходы соответствующего мономера. Процесс появления окраски у полимера, который может осуществляться при более низких температурах, приводит к образованию в молекуле полиметакрилонитрила структур (см. раздел Б-3,б), которые препятствуют протеканию реакций, обратных реакции роста цепи. Поэтому выходы мономера находятся в обратно пропорциональной зависимости от того, насколько глубоко произошло окрашивание полимера [104]. Поскольку протекание этой реакции может быть сведено к минимуму путем тщательнейшей очистки мономера, используемого для синтеза полимера, высокая чистота исходного мономера и высокая температура термодеструкции являются оптимальными условиями получения из полиметакрилонитрила высоких выходов мономера. Так, например, путем деполимеризации чистого полимера при 300° могут быть получены выходы мономера, достигающие 100%. Из полимера, который приобрел уже интенсивную окраску в результате нагревания при более низких температурах, максимальный выход мономера при термодеструкции при 220° никогда не превышает 50 %, причем выход дополнительно уменьшается, если увеличивать продолжительность предварительной термообработки полиметакрилонитрила при температуре, при которой происходит появление и углубление его окраски, например при 150°.[6, С.52]
Рис. 1.123. ИК спектры дегидратированного при 603 К поливинилового спирта. Дегидратация проводилась без предварительной термообработки при 473 К (/) и после нее (2) [437].[5, С.108]
термообработки с закаткой в рулоны; 2) пропитка корда с термообработкой и закаткой в рулоны; 3) обрезинивание корда без предварительной термообработки; 4) нормальный режим с прохождением всех операций.[3, С.141]
ТЕОРЕТИЧЕСКАЯ МЕХАНИКА СТУДЕНТАМ!!! Задачи по теоретической механике из сборника курсовых работ под редакцией А.А. Яблонского, Кепе, Диевского. Быстро, качественно, все виды оплат, СМС-оплата.
А также: Готовые решения задач по теормеху из методичек Тарга С.М. 1988 и 1989 г. и задачника Мещерского. Решение любых задач по термеху на заказ.
Если Вам нужны решения задач по Физике из методички Чертова А.Г. для заочников, а также решебнки: Прокофьева, Чертова, Воробьёва и Волькинштейна. Решение любых задач по физике и гидравлике на сайте fiziks.ru
Что самое приятное на любом из этих сайтов Вы можете заказать решение задач по другим предметам: химия, высшая математика, строймех, сопромат, электротехника, материаловедение, ТКМ и другие.